現(xiàn)階段氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進(jìn)展
2020.06.24
在科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展的時代，氦氣及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。這主要由兩個因素決定：一方面，檢漏應(yīng)用技術(shù)不斷對檢漏儀提出新的要求，迫使儀器本身更新；另一方面，檢漏技術(shù)在應(yīng)用過程中也隨時隨地對現(xiàn)有檢漏儀進(jìn)行補(bǔ)充。對于一些不足之處，現(xiàn)階段氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進(jìn)展及其應(yīng)用之間的關(guān)系是互補(bǔ)和相輔相成的。
氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進(jìn)展
經(jīng)過近半個世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)告別了40年代初的狀況。
主要體現(xiàn)在以下幾個方面：
（1）高壓檢漏：檢漏口壓力可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)、大泄漏工件非常有用。
（2）自動化程度高：氦峰自動校準(zhǔn)，自動調(diào)零，自動量程轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，外置打印機(jī)。整個機(jī)器由電腦控制，菜擇功能，一個按鈕就可以完成一個完整的檢漏過程。
（3）便攜式：近年來，各國引進(jìn)的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且攜帶方便，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了更大的便利。
（4）檢漏范圍寬：目前四檢漏儀質(zhì)量范圍廣。它不僅能檢測氦氣，還能檢測其他氣體。
（5）無油干漏檢測：在一些，可以采用干泵實現(xiàn)無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
分子泵排氣系統(tǒng)取代了擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對儀器的快速啟動和快速停機(jī)也有很大的貢獻(xiàn)。為了適應(yīng)檢漏壓力的變化和不同的靈敏度要求，分子泵一般采用多級結(jié)構(gòu)和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如，瑞士和日本利用改變分子泵的速度來達(dá)到這一目的，并提高泄漏檢測靈敏度。另外，反擴(kuò)散檢漏方法實現(xiàn)了高壓下的檢漏，為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
